減圧マイクロ波加熱。
真空チャンバー内でマイクロ波エネルギーによって製品が加熱される。圧力が低下することで蒸発温度が下がり、回転または制御された動きによって材料が均一に加熱され、真空システムによって発生した蒸気が除去される。

| 機器モデル | 06R | 10R | 15R | 24F | 48°F |
| マイクロ波出力(kW) | 6 | 10 | 15 | 24 | 48 |
| マイクロ波周波数(MHz) | 2450 ± 15 | 2450 ± 15 | 2450 ± 15 | 2450 ± 15 | 2450 ± 15 |
| 材料散布面積(m²) | 1 | 1.5 | 2 | 4 | 8 |
| 蒸発能力(kg/h) | 6~9 | 10~13 | 15~20 | 24~30 | 40~60 |
| トレイ回転速度(rpm) | 0~5 | 0~5 | 0~5 | 0~5 | 0~5 |
| 真空度(MPa) | ≥0.095 | ≥0.095 | ≥0.095 | ≥0.095 | ≥0.095 |
| 漏洩率 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 |
| 全体寸法(メートル) | 1.5×1.8×2.1 | 1.6×1.8×2.1 | 1.85×2.4×2.2 | 3.1×2.7×2 | 3.1×2.7×2.2 |